MOSFET基础
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场效应晶体管
场效应晶体管是一种电压控制型多子导电器件,又称单极型晶体管。可分为三大类:结型场效应晶体管(JFET)、肖特基势垒型场效应晶体管(MESFET)和绝缘栅场效应晶体管(IGFET)
JFET利用PN结作为控制栅,当对栅施加反向电压时,PN结的势垒区向低掺杂区扩展,实现对导电沟道截面积的控制。
MESFET则是利用金属-半导体结作为控制栅。
IGFET是利用电场能控制半导体表面状态来控制沟道的导电能力。
IGFET的栅极可以金属材料制作,金属栅下面的绝缘层可以用SiO2制作,这种IGFET的结构为“金属-氧化物-半导体”场效应晶体管,简称MOSFET,虽然今天许多IGFET的栅极材料已不采用金属,而是使用多晶硅或者金属硅化物作为栅极,绝缘层也不一定是SiO2,但仍称为MOSFET。
使用多晶硅代替金属作为栅极的原因
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场效应晶体管的优点(与BJT相比)
- 输入阻抗高
- 温度稳定性好
- 开关速度快(无少子存储效应)
- 功耗低
MOSFET的结构
上图为N沟道MOSFET。在P衬底上制作两个N+区,一个称为源区,一个称为漏区,源漏之间是沟道。在沟道区的表面,有热氧化工艺生长的氧化层作为介质,称为绝缘栅。在源区、漏区和绝缘栅上蒸发一层Al作为引出电极,分别称为源极、漏极、栅极,另外从MOSFET的衬底上还可以引出衬底电极。
MOSFET的工作原理
以N沟道MOSFET为例,在栅极上没有外加电压时,源漏之间是两个背靠背的PN结,此时外加电压Vds,除了微弱的PN结反向电流外,几乎没有电流但当在栅极施加适当的Vgs后,当Vgs增大到一定程度时,沟道表面会存在大量的可动电子,在此时,外加电压Vds,就能产生漏极电流。

漏极电流随栅源电压的变化曲线称为MOSFET的转移特性曲线,反映了Vgs对Id的控制能力
MOSFET的类型
根据沟道类型和阈值电压正负,MOSFET可分为四种类型,增强型和常关型等价,耗尽型和常开型等价。例如对于NMOS来说,Vgs越正越有利于开,在0V时就开(Vt<0)就意味着常开。
| 类型 | 阈值电压大小 | 衬底材料 |
|---|---|---|
PMOS 增强型 | Vt < 0 | P型半导体 |
PMOS 耗尽型 | Vt > 0 | P型半导体 |
NMOS 增强型 | Vt > 0 | N型半导体 |
NMOS 耗尽型 | Vt < 0 | N型半导体 |
四种情况的具体图
MOSFET的输出特性
输出特性指的是Vgs>Vt且恒定时,漏极电流Id随漏源电压Vds的变化规律。

- 当Vds较小时,栅极和沟道之间的电势差在沟道内近似相等,沟道内自由电子浓度也近似相等,相当于一个固定电阻,这一区域称为线性区。。
- 当Vds增大时,漏极电流Id相应会增大,但由于漏源电势差的存在,越向漏极靠近,栅极和沟道的电势差越小,感应出的沟道内自由电子数量也会变小,从而使沟道电阻有一定程度的增大,使得漏极电流Id增长变缓,这一区域称为过渡区。
- 当Vds更大时(超过饱和漏源电压Vdsat),沟道在夹断点夹断,沟道与漏区之间隔着耗尽层,沟道内的自由电子在漏源电压的趋势下运动到夹断点时,会被耗尽层的强电场拉入(类似与PN结的反向特性),扫入漏区。由于电子在耗尽层的漂移速度达到了饱和速度,不再随电场增大而增大,这一区域称为饱和区。
- 当Vds增大到漏源击穿电压BVds时,由于漏PN结雪崩击穿或者源漏穿通效应,会导致Id迅速上升。
